科学研究

beat365邀请姚钊博士做学术报告

2016-09-10  点击:[]

2016年9月9日下午,在beat3655楼会议室,beat365邀请韩国光云大学微电子与固体电子学专业的姚钊博士来院做学术报告,单福凯副院长主持报告会。姚钊博士主要关注于室温快速生长致密性陶瓷介电材料的气溶胶淀积技术,首次实现室温在硅基板生长高介电常数钛酸钡薄膜,避免高温处理对其他器件造成的影响,并开发了基于干法刻蚀的图案化工艺,首次实现可集成的硅基微米电容器。攻读博士期间,以第一作者身份发表SCI论文5篇,获专利数项。他做的报告题目是 ”Development of Room Temperature Aerosol Deposited High-K BaTiO3 Thin Films for Integrated Capacitors“,有近30名师生参加报告会。此次报告使到会的师生受益匪浅,加深了学术交流,拓宽了学术视野。

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